56. 气体循环直流旋转电弧等离子体喷射动态气相环境下生长金刚石大单晶研究（51102013）
发布时间：2018-03-08 02:16
| 56. 气体循环直流旋转电弧等离子体喷射动态气相环境下生长金刚石大单晶研究（51102013） |
| 课题负责人: |
黑立富 |
| 课题参加人: |
吕反修，宋建华 |
| 课题来源： |
国家自然科学基金――青年科学基金项目 |
| 项目分类： |
国家自然科学基金 |
| 合同总额： |
25万元 |
| 起止时间： |
2012-2014 |
| 项目内容： |
本项目将研究沉积工艺参数、衬底质量与表面状态、衬底预处理工艺、设备与环境等因素对DC Arc Plasma Jet CVD 金刚石大单晶生长的影响规律。阐明在旋转电弧DC ArcPlasma Jet 动态气相环境（气体高速流动（相对于微波等离子体CVD））条件下金刚石单晶外延生长行为与机制及与微波等离子体CVD 单晶生长的异同。界定DC Arc Plasma Jet CVD金刚石单晶外延生长的条件和范围。优化DC Arc Plasma Jet CVD 金刚石单晶生长工艺。获得大尺寸（大于7mm x 7mm）、高质量（达到或优于IIa 型天然金刚石单晶）完整分离的金刚石单晶（厚度超过2mm，约2 克拉）及其完整的性能表征数据。对DC Arc Plasma Jet 制备大尺寸、高质量金刚石单晶的可行性作出评价。 |
